精密光學廠 多角化布局搶商機

2014年台北國際光電週系列活動精采閉幕,

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,其中由PIDA與光學公會所合作的台灣精密光學展(OPTICS Taiwan)及車用光學應用技術與市場趨勢研討會,

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,展現了光學產業的旺盛活力,

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,以及揭示了光學應用產品多角化布局。日本Nikon在本次精密光學展中展出了巨大的石英(SiO2)晶棒,

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, 1公噸4石英碇的長晶過程需要在2000℃的穩定高溫之下,

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,耗時數個星期之久。此材料適用於193 nm以上波長的微影設備鏡頭,

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,亦可滿足平面顯示器所需。Nikon是少數可提供微影步進機(lithography stepper)設備及其鏡頭的廠商。隨著半導體製程線寬的持續縮小,

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,大尺寸微影步進機鏡頭的規格也日趨嚴格,

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,因此Nikon開發此合成石英(SiO2)與螢石(CaF2,氟化鈣)材料;後者則是為了滿足193 nm以下波長的高階半導體設備。,

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